https://publications-cnrc.canada.ca/fra/voir/objet/?id=9e5da740-7a6a-4d12-899f-79d648f8a7b3
Rechercher Park, Byoungyoul; Rechercher Bergren, Adam Johan; Rechercher Belov, Miroslav; Rechercher Burley, Greg; Rechercher Shafai, Cyrus
National Research Council of Canada, 22 avril 2021
The design and analysis of a low voltage large stroke (over 10 µm) MEMS Lorentz deformable mirror, which uses a rigid crossbar, serpentine spring, and thin...
Actes de conférence
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