https://publications-cnrc.canada.ca/fra/voir/objet/?id=84093730-e199-49b4-a6df-ff01930268e1
Physical Review Letters, 15 janvier 1996, Volume : 76, Numéro : 3
Superlattices of Si/SiO2 have been grown at room temperature with atomic layer precision using state of the art molecular beam epitaxy and ultraviolet ozone...
Article de périodique (revue)