https://publications-cnrc.canada.ca/fra/voir/objet/?id=5ef3d7e8-5a96-4743-b519-378546538362
Rechercher Landheer, D; Rechercher Aers, G. C; Rechercher Sproule, G. I; Rechercher Lawther, D. W; Rechercher Simpson, P. J; Rechercher Massoumi, G. R; Rechercher Tong, S. Y
Journal Of Applied Physics, 1 mars 1996, Volume : 79, Numéro : 5
Positron annihilation spectroscopy has been used to study silicon nitride films grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition and annealed at different...
Article de périodique (revue)