https://publications-cnrc.canada.ca/fra/voir/objet/?id=228a1c25-f926-4b57-a253-bb2ecccfdcef
Thin Solid Films, janvier 2012, Volume : 520, Numéro : 7
The interference colors resulting from thin films of Al2O3 deposited by atomic layer deposition (ALD) on silicon have been rigorously analyzed using a recently...
Article de périodique (revue)