https://publications-cnrc.canada.ca/fra/voir/objet/?id=59f464fb-9fef-4646-ad65-58ec91fe9bc5
Rechercher DeVries, A. M; Rechercher Tarr, N. G; Rechercher Cheben, Pavel; Rechercher Grant, Peter; Rechercher Janz, Siegfried; Rechercher Xu, Dan-Xia
Journal of Vacuum Science & Technology A, 2002, Volume : 20, Numéro : 3
Article de périodique (revue)