https://publications-cnrc.canada.ca/fra/voir/objet/?id=b4c676dc-af10-4489-b8a8-673d652ad4a5
Microelectronic Engineering, 5 décembre 2010, Volume : 88, Numéro : 8
In this work, we report the fabrication of sub-10 nm wide, doubly-clamped silicon carbon nitride (SiCN) resonators of up to 5 μm lengths. An existing resonator...
Article de périodique (revue)