https://publications-cnrc.canada.ca/fra/voir/objet/?id=06e83d00-7373-4328-99aa-d2728b62725f
Rechercher Dubowski, J.J; Rechercher Rosenquist, B; Rechercher Lockwood, D; Rechercher Labbe, H; Rechercher Roth, A; Rechercher Lacelle, C; Rechercher Davies, M; Rechercher Barber, R; Rechercher Mason, B; Rechercher Sproule, G
Journal Of Applied Physics, 1995, Volume : 78, Numéro : 3
Etching of a chemical-beam-epitaxy-grown InP/InGaAs multilayer structure with reactive ion etching (RIE) and laser-assisted dry etching ablation (LADEA) is...
Article de périodique (revue)