https://publications-cnrc.canada.ca/fra/voir/objet/?id=32bf373e-a00d-48a7-893e-0e2c18968ca7
Rechercher Luesebrink, Helge; Rechercher Glinsner, Thomas; Rechercher Jakeway, Stephen C; Rechercher Crabtree, H. J; Rechercher Cameron, Neil S; Rechercher Roberge, Helene; Rechercher Veres, Teodor
Journal of Nanoscience & Nanotechnology, 1 juin 2005, Volume : 10
The transition of MEMS technology to nano fabrication is a solution to the growing demand for smaller and highdensity feature sizes in the nanometer scale....
Article de périodique (revue)
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