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Rechercher Dubowski, Jan; Rechercher Feng, Y; Rechercher Poole, Philip; Rechercher Buchanan, Margaret; Rechercher Poirer, S; Rechercher Genest, J; Rechercher Aimez, V
Journal of Vacuum Science & Technology A, 2002, Volume : 20, Numéro : 4
Article de périodique (revue)