https://publications-cnrc.canada.ca/fra/voir/objet/?id=a358318c-5156-4fa5-841c-5afe1dee7069
Rechercher Chen, H. -W; Rechercher Landheer, D; Rechercher Wu, X; Rechercher Moisa, S; Rechercher Sproule, G. I; Rechercher Chao, T. -S; Rechercher Huang, T. -Y
Journal of Vacuum Science and Technology A, 2002, Volume : 20, Numéro : 3
The properties of ZrO2 films deposited using molecular oxygen and a recently developed precursor, zirconiumZr(Oi–Pr)2(thd)2 have been investigated. The...
Article de périodique (revue)
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